دستگاه پوشش دهی تحت خلا به روش PVD
ایجاد پوشش های لایه نازک فوق سخت و روانکار و مقاوم به سایش و خوردگی روی انواع قطعات صنعتی که نیازمند ایجاد مقاومت سطحی هستند. این پوششها دارای تنوع ترکیب و نانو ساختار هستند و به صورت ساختارهای کریستالی نانو لایه ، نانو کامپوزیت و شبه الماسه رسوب داده میشوند . از مهمترین کاربرد های تعریف شده برای این فناوری ، پوشش دهی انواع ابزار برشی ، انواع قالب و انواع قطعات تحت سایش و خوردگی که در صنایع خودرو ، پزشکی ، نیروگاهی و هوا فضا و ... میباشد. این محصول برای ایجاد پوشش های نانو کامپوزیتی فوق سخت و خودروانکار روی قطعات صنعتی که نیاز به خواص سطحی ویژه از لحاظ تریبولوژی هستند به کار میروند.این پوششها از نوع نانو کامپوزیتی هستند که از دو بخش اصلی تشکیل میگردند. بخش اول – شامل ساختار زمینه پوشش ، متشکل از کربن شبه الماسه و یا Si3N4با ساختار آمورف میباشد بخش دوم- شامل نانو کریستالهای کاربید فلزی و یا نیترید فلزی با اندازه کمتر از 10نانو متر است که در زمینه بی شکل کربن شبه الماسه رسوب مینماید. محصول این فرایند ایجاد یک پوشش با سختی بسیار زیاد و تافنس عالی و از همه مهمتر دارای خاصیت تریبولوژیکی منحصر به فرد از لحاظ ضریب اصطحکاک و رافنس میباشد. از الزامات این پوشش ها شامل کنترل دقیق فرایند جهت دستیابی به ساختار مورد نظر و عدم وجود عیوب پوشش مثل میکرو ذرات است
