نانوپروفایلر سه بعدی نوری یک تجهیز تصویربرداری و اندازه گیری اپتیکی است که با استفاده از روش تداخل سنجی نور سفید پروفایل سه بعدی سطح را با دقت بهتر از پنج نانومتر عمقی و ۶۰۰ نانومتر عرضی تصویربرداری و اندازه گیری می کند. با استفاده از مختصات ابر نقاط به دست آمده پارامتراهای مختلف سطح مانند صافی و زبری، ارتفاع پله ها، ضخامت لایه و ... را تعیین و اندازه گیری کرد. میدان دید دستگاه در دقت مذکور یک میلی متر مربع است که می تواند با تصویربرداری های تکه‌ای و با استفاده از چیدن تصاویر در کنار یکدیگر با استفاده از نرم افزار دستگاه تا یک و نیم سانتی متر مربع افزایش یابد. میدان دید و دقت اندازه گیری بر اساس نیاز مشتری قابل سفارشی سازی است. می توان با کاهش دقت میدان دید را افزایش داد. کاهش دقت در کاهس قیمت دستگاه بسیار موثر است.
